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控制系统采用欧洲高速高精度自动控制系统,该系统内嵌32位微处理器,真正实现实时控制
三轴均采用大功率驱动器、电机及双级减速装置,确保传动迅速、准确
主要特征:
三轴导轨均采用高精密天然花岗岩,具有相同的温度特性及刚性
三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承,运动更平稳,导轨永不受磨损
单边驱动活动桥式结构,显著提高运动性能,确保测量精度及稳定性
Y轴采用整体燕尾式导轨,有效消除了运动扭摆,保证了测量精度及稳定性
欧洲开放式金属光栅尺,分辨率0.4 um
控制系统采用欧洲高速高精度自动控制系统,该系统内嵌32位微处理器,真正实现实时控制
三轴均采用大功率驱动器、电机及双级减速装置,确保传动迅速、准确
规格型号与技术指标: